وفقًا للممارسات الدولية ، يتم تحديد مستوى التنقية الخالية من الغبار بشكل أساسي وفقًا لعدد الجزيئات في الهواء التي يكون قطرها أكبر من معيار التصنيف لكل متر مكعب.وهذا يعني أن ما يسمى بخلو الغبار ليس 100٪ بدون القليل من الغبار ، ولكن يتم التحكم فيه بكمية صغيرة جدًا من الوحدات.بالطبع ، الجسيمات التي تلبي معيار الغبار في هذا المعيار صغيرة جدًا مقارنة بالغبار الشائع لدينا ، ولكن بالنسبة للهياكل البصرية ، حتى القليل من الغبار سيكون له تأثير سلبي كبير جدًا ، لذلك في إنتاج منتجات الهياكل البصرية ، الغبار- الحر شرط لا مفر منه.
يتم التحكم في عدد الجسيمات التي يقل حجم جسيمها عن 0.5 ميكرون إلى أقل من 3500 لكل متر مكعب ، والتي وصلت إلى المستوى القياسي الدولي الخالي من الغبار.المعايير الخالية من الغبار المستخدمة حاليًا في الإنتاج على مستوى الرقائق ومعالجتها لها متطلبات أعلى للغبار من الفئة أ ، وتستخدم هذه المعايير العالية بشكل أساسي في إنتاج بعض الرقائق عالية المستوى.يتم التحكم بدقة في عدد الغبار الناعم في حدود 1000 لكل متر مكعب ، وهو ما يُعرف عمومًا بمستوى 1K في الصناعة.
1. المقصورة ، مواد السقف ، ارتفاع السقف.
2. مواد الأرضية.
3. ما إذا كانت درجة حرارة ثابتة والرطوبة.
4. ما إذا كان الهواء العادم مطلوبًا ؛
5. العدد الإجمالي للأشخاص في ورشة العمل.
6. القيمة الحرارية لمعدات عملية الورشة ؛
وهكذا سلسلة من المعلمات.
معايير الغرفة النظيفة فئة 100،000 هي:
الحد الأقصى المسموح به من الغبار (لكل متر مكعب) ؛
يجب ألا يتجاوز عدد الجسيمات الأكبر من أو يساوي 0.5 ميكرون 3500000 ، ويجب ألا يتجاوز عدد الجسيمات الأكبر من أو يساوي 5 ميكرون ؛
العدد الأقصى المسموح به من الكائنات الحية الدقيقة ؛
ألا يزيد عدد البكتريا عن 500 لكل متر مكعب ؛
يجب ألا يتجاوز عدد البكتيريا المستقرة 10 لكل طبق بتري.
فرق الضغط: يجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة من نفس مستوى النظافة ثابتًا.يجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة المجاورة ذات مستويات النظافة المختلفة ≥5Pa ، ويجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة والغرف غير النظيفة 10Pa.
عندما لا يكون لورشة العمل الخالية من الغبار التي تبلغ مساحتها 100000 مستوى متطلبات خاصة لدرجة الحرارة والرطوبة ، فمن المناسب ارتداء ملابس عمل نظيفة دون الشعور بالراحة.يتم التحكم في درجة الحرارة بشكل عام عند 20 ~ 22 ℃ في الشتاء ؛24 ~ 26 ℃ في الصيف ؛تقلب ± 2 ℃.يتم التحكم في رطوبة الغرفة النظيفة في الشتاء بنسبة 30-50٪ ، ويتم التحكم في نسبة الرطوبة في الغرفة النظيفة في الصيف بنسبة 50-70٪.
التحكم في الضوضاء
1. أثناء الاختبار الديناميكي ، يجب ألا يتجاوز مستوى الضوضاء في الغرفة النظيفة فئة 10000 70 ديسيبل.
2. أثناء الاختبار الساكن ، يجب ألا يزيد مستوى الضوضاء للغرفة النظيفة المضطربة ذات المستوى 10000 عن 60 ديسيبل.
تنظيم تدفق الهواء
طريقة إمداد الهواء الرئيسية المستخدمة في ورشة العمل الخالية من الغبار على مستوى 100000 ؛
1. فتحة سقف الهواء الجزئي؛
2. مرشح هواء ذو كفاءة عالية مع لوحة ناشرة لتزويد الهواء بالسقف.
3. ثلاثة أنواع من الإمداد بالهواء ، بما في ذلك تزويد الهواء على الجدار الجانبي العلوي.
1. رتب مخرج الهواء العائد في الجزء السفلي من الجدار الجانبي الفردي ؛2. عند استخدام الهواء العائد للممر ، رتب مخرج الهواء العائد بالتساوي في الممر أو اضبط مركزيًا مخرج الهواء العائد في نهاية الممر.
سرعة مخرج الهواء م / ث:
1. فتحة 3 ~ 5 من لوحة الفتحة ，
2. مخرج الهواء الجانبي:
(1) نعلق الطائرات 2 إلى 5
(2) بالنسبة للطائرات غير المتصلة ، يكون الهواء العائد في الجزء السفلي من نفس الجدار الجانبي 1.5 ~ 2.5 ، والهواء العائد في الجزء السفلي من الجدار الجانبي المقابل هو 1.0 ~ 1.5.
سرعة الهواء الراجع (م / ث):
1. لا يزيد مخرج الهواء العائد للغرفة النظيفة عن 2 ،
2. لا يزيد مخرج الهواء العائد في الممر عن 4.
1. الغرض
ضع إجراءات تشغيل قياسية للأفراد الذين يدخلون ويخرجون من الغرفة النظيفة ذات المستوى 100000 للتأكد من أن الغرفة النظيفة غير ملوثة من قبل الأفراد.
2. المنطقة
دخول وخروج موظفي الورشة الخالية من الغبار بمستوى 100000 ، بما في ذلك مشغلي الإنتاج وموظفي الصيانة وموظفي الإدارة.
3 المسؤوليات
3.1 يجب أن يكون جميع الأفراد الذين يدخلون إلى ورشة العمل الخالية من الغبار والتي تبلغ مساحتها 100000 ويخرجون منها مسؤولين عن إجراء التشغيل هذا.
3.2 قائد فريق ورشة العمل الخالية من الغبار وموظفي مراقبة الجودة في الموقع مسؤولون عن الإشراف والتفتيش.
4 المحتوى
4.1 ادخل من باب الغرفة النظيفة وضع معدات المطر والأشياء في الموضع المحدد.
4.2 تغيير النعال.في مكان تغيير الأحذية ، اجلس على كرسي الحذاء ، وخلع حذائك المنزلي ، ثم ضعه في خزانة الأحذية ، وقم بتدويره 180 درجة ، وأخرج النعال الخاص بك من الطبقة العليا لخزانة الأحذية وارتديها.
4.3 تغيير ملابس العمل.ادخل إلى مكتب منطقة العمل العامة ، وخلع ملابس الموظف غير الرسمية ، وارتدِ ملابس العمل.
4.4 اغسل يديك.اتبع إجراءات غسل اليدين لغسل يديك.
4.5 التغيير إلى أحذية العمل.ادخل باب غرفة الأحذية ، واجلس على المقعد ، وواجه الباب ، وخلع النعال ، ثم ضع النعال في الطبقة السفلية لخزانة الأحذية ، وأخرج حذاء العمل من الطبقة العليا لخزانة الأحذية ، واجلس و استدر 180 درجة مع ظهرك إلى الباب ولبسهم.
4.6 اغسل يديك وجففها.
4.6.1 بلل يديك بالماء حتى 10 سم فوق معصمك في المغسلة ، واغسلها بالمنظف ، واجعل الجلد بطول 10 سم على يديك ومعصميك مليئًا بالرغوة ، وافركها لمدة 15 ثانية تقريبًا.
4.6.2 اشطف يديك بالماء ، اشطف الأرز المنقوع على يديك ، اقلب يديك لأعلى ولأسفل ، وافركهما حتى لا يشعروا بالدهون.
4.6.3 تحقق بصريًا من نظافة اليدين.
4.6.4 مد راحة يدك إلى 8 ~ 10 سم تحت يد المجفف ، وجفف يدك حتى تجف.
4.7 التغيير لتنظيف الملابس الداخلية.خلع ملابس العمل ووضعها في الخزانة الشخصية.اخلع قبعة العمل وملابس العمل وسراويل العمل مع الرقم الشخصي من خطاف الحائط في غرفة خلع الملابس وارتديها.ارتديها بالترتيب من الأعلى إلى الأسفل ، أي: ارتدِ القبعة أولاً ، ثم القناع ، ثم القميص ، ثم البنطال.انتبه لربط كل البلوزات في جيوب البنطلون ، وثني كل الشعر في القبعات ، وتحقق مما إذا كانت المعاطف والقبعات نظيفة.
4.8 اغسل يديك وطهرها.
4.8.1 بلل يديك بالماء حتى 10 سم فوق معصمك في المغسلة ، واغسلها بالمنظف ، واجعل الجلد بطول 10 سم على يديك ومعصميك مليئًا بالرغوة ، وافركها لمدة 15 ثانية تقريبًا.
4.8.2 اشطف يديك بالماء ، اشطف الأرز المنقوع على يديك ، اقلب يديك لأعلى ولأسفل ، وافركهما حتى لا يشعروا بالدهون.
4.8.3 تحقق بصريًا من نظافة اليدين.
4.8.4 التطهير.انقع يديك على ارتفاع 10 سم فوق الرسغ في مطهر يحتوي على الكلور لمدة 30 ثانية.
4.8.5 مد راحة يدك إلى 8 ~ 10 سم تحت يد المجفف ، وجفف يدك حتى تجف.
4.9 ارتداء المعاطف.قم بإزالة موقع واحد مع الرقم الفردي من الخزانة.ارتديها من الأسفل إلى الأعلى ، مع الحرص على عدم ترك المعاطف تلمس الأرض.
4.10 الاستلام والتطهير.ادفع الباب إلى الغرفة العازلة ، ضع يديك تحت بخاخ الحث التلقائي المملوء بـ 75٪ من الإيثانول ، ورش للتطهير ، واهتز يديك ، واترك الإيثانول يجف.
4.11 دخول الغرفة النظيفة.افتح باب غرفة العازلة وادخل المنطقة الخالية من الغبار.
4.12 عندما يغادر الأفراد المنطقة النظيفة ، اتبع الإجراء العكسي لدخول المنطقة النظيفة.لاحظ أنه عند سحب ملابس العمل ، اخلع ملابسك من الأسفل إلى الأعلى.
4.13 يجب اعتماد الزائرين من الخارج من قبل المصنع ، وتحت إشراف وإشراف موظفي إدارة الورشة ، الدخول إلى الورشة الخالية من الغبار ومغادرتها وفقًا للإجراءات المقررة.يجب على الزوار الأجانب الالتزام الصارم بلوائح إدارة ورشة العمل.خلال فترة إنتاج الغرفة النظيفة ، لا يُسمح للزوار الخارجيين بالدخول.
وفقًا للممارسات الدولية ، يتم تحديد مستوى التنقية الخالية من الغبار بشكل أساسي وفقًا لعدد الجزيئات في الهواء التي يكون قطرها أكبر من معيار التصنيف لكل متر مكعب.وهذا يعني أن ما يسمى بخلو الغبار ليس 100٪ بدون القليل من الغبار ، ولكن يتم التحكم فيه بكمية صغيرة جدًا من الوحدات.بالطبع ، الجسيمات التي تلبي معيار الغبار في هذا المعيار صغيرة جدًا مقارنة بالغبار الشائع لدينا ، ولكن بالنسبة للهياكل البصرية ، حتى القليل من الغبار سيكون له تأثير سلبي كبير جدًا ، لذلك في إنتاج منتجات الهياكل البصرية ، الغبار- الحر شرط لا مفر منه.
يتم التحكم في عدد الجسيمات التي يقل حجم جسيمها عن 0.5 ميكرون إلى أقل من 3500 لكل متر مكعب ، والتي وصلت إلى المستوى القياسي الدولي الخالي من الغبار.المعايير الخالية من الغبار المستخدمة حاليًا في الإنتاج على مستوى الرقائق ومعالجتها لها متطلبات أعلى للغبار من الفئة أ ، وتستخدم هذه المعايير العالية بشكل أساسي في إنتاج بعض الرقائق عالية المستوى.يتم التحكم بدقة في عدد الغبار الناعم في حدود 1000 لكل متر مكعب ، وهو ما يُعرف عمومًا بمستوى 1K في الصناعة.
1. المقصورة ، مواد السقف ، ارتفاع السقف.
2. مواد الأرضية.
3. ما إذا كانت درجة حرارة ثابتة والرطوبة.
4. ما إذا كان الهواء العادم مطلوبًا ؛
5. العدد الإجمالي للأشخاص في ورشة العمل.
6. القيمة الحرارية لمعدات عملية الورشة ؛
وهكذا سلسلة من المعلمات.
معايير الغرفة النظيفة فئة 100،000 هي:
الحد الأقصى المسموح به من الغبار (لكل متر مكعب) ؛
يجب ألا يتجاوز عدد الجسيمات الأكبر من أو يساوي 0.5 ميكرون 3500000 ، ويجب ألا يتجاوز عدد الجسيمات الأكبر من أو يساوي 5 ميكرون ؛
العدد الأقصى المسموح به من الكائنات الحية الدقيقة ؛
ألا يزيد عدد البكتريا عن 500 لكل متر مكعب ؛
يجب ألا يتجاوز عدد البكتيريا المستقرة 10 لكل طبق بتري.
فرق الضغط: يجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة من نفس مستوى النظافة ثابتًا.يجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة المجاورة ذات مستويات النظافة المختلفة ≥5Pa ، ويجب أن يكون فرق الضغط بين الغرف النظيفة والغرف غير النظيفة 10Pa.
عندما لا يكون لورشة العمل الخالية من الغبار التي تبلغ مساحتها 100000 مستوى متطلبات خاصة لدرجة الحرارة والرطوبة ، فمن المناسب ارتداء ملابس عمل نظيفة دون الشعور بالراحة.يتم التحكم في درجة الحرارة بشكل عام عند 20 ~ 22 ℃ في الشتاء ؛24 ~ 26 ℃ في الصيف ؛تقلب ± 2 ℃.يتم التحكم في رطوبة الغرفة النظيفة في الشتاء بنسبة 30-50٪ ، ويتم التحكم في نسبة الرطوبة في الغرفة النظيفة في الصيف بنسبة 50-70٪.
التحكم في الضوضاء
1. أثناء الاختبار الديناميكي ، يجب ألا يتجاوز مستوى الضوضاء في الغرفة النظيفة فئة 10000 70 ديسيبل.
2. أثناء الاختبار الساكن ، يجب ألا يزيد مستوى الضوضاء للغرفة النظيفة المضطربة ذات المستوى 10000 عن 60 ديسيبل.
تنظيم تدفق الهواء
طريقة إمداد الهواء الرئيسية المستخدمة في ورشة العمل الخالية من الغبار على مستوى 100000 ؛
1. فتحة سقف الهواء الجزئي؛
2. مرشح هواء ذو كفاءة عالية مع لوحة ناشرة لتزويد الهواء بالسقف.
3. ثلاثة أنواع من الإمداد بالهواء ، بما في ذلك تزويد الهواء على الجدار الجانبي العلوي.
1. رتب مخرج الهواء العائد في الجزء السفلي من الجدار الجانبي الفردي ؛2. عند استخدام الهواء العائد للممر ، رتب مخرج الهواء العائد بالتساوي في الممر أو اضبط مركزيًا مخرج الهواء العائد في نهاية الممر.
سرعة مخرج الهواء م / ث:
1. فتحة 3 ~ 5 من لوحة الفتحة ，
2. مخرج الهواء الجانبي:
(1) نعلق الطائرات 2 إلى 5
(2) بالنسبة للطائرات غير المتصلة ، يكون الهواء العائد في الجزء السفلي من نفس الجدار الجانبي 1.5 ~ 2.5 ، والهواء العائد في الجزء السفلي من الجدار الجانبي المقابل هو 1.0 ~ 1.5.
سرعة الهواء الراجع (م / ث):
1. لا يزيد مخرج الهواء العائد للغرفة النظيفة عن 2 ،
2. لا يزيد مخرج الهواء العائد في الممر عن 4.
1. الغرض
ضع إجراءات تشغيل قياسية للأفراد الذين يدخلون ويخرجون من الغرفة النظيفة ذات المستوى 100000 للتأكد من أن الغرفة النظيفة غير ملوثة من قبل الأفراد.
2. المنطقة
دخول وخروج موظفي الورشة الخالية من الغبار بمستوى 100000 ، بما في ذلك مشغلي الإنتاج وموظفي الصيانة وموظفي الإدارة.
3 المسؤوليات
3.1 يجب أن يكون جميع الأفراد الذين يدخلون إلى ورشة العمل الخالية من الغبار والتي تبلغ مساحتها 100000 ويخرجون منها مسؤولين عن إجراء التشغيل هذا.
3.2 قائد فريق ورشة العمل الخالية من الغبار وموظفي مراقبة الجودة في الموقع مسؤولون عن الإشراف والتفتيش.
4 المحتوى
4.1 ادخل من باب الغرفة النظيفة وضع معدات المطر والأشياء في الموضع المحدد.
4.2 تغيير النعال.في مكان تغيير الأحذية ، اجلس على كرسي الحذاء ، وخلع حذائك المنزلي ، ثم ضعه في خزانة الأحذية ، وقم بتدويره 180 درجة ، وأخرج النعال الخاص بك من الطبقة العليا لخزانة الأحذية وارتديها.
4.3 تغيير ملابس العمل.ادخل إلى مكتب منطقة العمل العامة ، وخلع ملابس الموظف غير الرسمية ، وارتدِ ملابس العمل.
4.4 اغسل يديك.اتبع إجراءات غسل اليدين لغسل يديك.
4.5 التغيير إلى أحذية العمل.ادخل باب غرفة الأحذية ، واجلس على المقعد ، وواجه الباب ، وخلع النعال ، ثم ضع النعال في الطبقة السفلية لخزانة الأحذية ، وأخرج حذاء العمل من الطبقة العليا لخزانة الأحذية ، واجلس و استدر 180 درجة مع ظهرك إلى الباب ولبسهم.
4.6 اغسل يديك وجففها.
4.6.1 بلل يديك بالماء حتى 10 سم فوق معصمك في المغسلة ، واغسلها بالمنظف ، واجعل الجلد بطول 10 سم على يديك ومعصميك مليئًا بالرغوة ، وافركها لمدة 15 ثانية تقريبًا.
4.6.2 اشطف يديك بالماء ، اشطف الأرز المنقوع على يديك ، اقلب يديك لأعلى ولأسفل ، وافركهما حتى لا يشعروا بالدهون.
4.6.3 تحقق بصريًا من نظافة اليدين.
4.6.4 مد راحة يدك إلى 8 ~ 10 سم تحت يد المجفف ، وجفف يدك حتى تجف.
4.7 التغيير لتنظيف الملابس الداخلية.خلع ملابس العمل ووضعها في الخزانة الشخصية.اخلع قبعة العمل وملابس العمل وسراويل العمل مع الرقم الشخصي من خطاف الحائط في غرفة خلع الملابس وارتديها.ارتديها بالترتيب من الأعلى إلى الأسفل ، أي: ارتدِ القبعة أولاً ، ثم القناع ، ثم القميص ، ثم البنطال.انتبه لربط كل البلوزات في جيوب البنطلون ، وثني كل الشعر في القبعات ، وتحقق مما إذا كانت المعاطف والقبعات نظيفة.
4.8 اغسل يديك وطهرها.
4.8.1 بلل يديك بالماء حتى 10 سم فوق معصمك في المغسلة ، واغسلها بالمنظف ، واجعل الجلد بطول 10 سم على يديك ومعصميك مليئًا بالرغوة ، وافركها لمدة 15 ثانية تقريبًا.
4.8.2 اشطف يديك بالماء ، اشطف الأرز المنقوع على يديك ، اقلب يديك لأعلى ولأسفل ، وافركهما حتى لا يشعروا بالدهون.
4.8.3 تحقق بصريًا من نظافة اليدين.
4.8.4 التطهير.انقع يديك على ارتفاع 10 سم فوق الرسغ في مطهر يحتوي على الكلور لمدة 30 ثانية.
4.8.5 مد راحة يدك إلى 8 ~ 10 سم تحت يد المجفف ، وجفف يدك حتى تجف.
4.9 ارتداء المعاطف.قم بإزالة موقع واحد مع الرقم الفردي من الخزانة.ارتديها من الأسفل إلى الأعلى ، مع الحرص على عدم ترك المعاطف تلمس الأرض.
4.10 الاستلام والتطهير.ادفع الباب إلى الغرفة العازلة ، ضع يديك تحت بخاخ الحث التلقائي المملوء بـ 75٪ من الإيثانول ، ورش للتطهير ، واهتز يديك ، واترك الإيثانول يجف.
4.11 دخول الغرفة النظيفة.افتح باب غرفة العازلة وادخل المنطقة الخالية من الغبار.
4.12 عندما يغادر الأفراد المنطقة النظيفة ، اتبع الإجراء العكسي لدخول المنطقة النظيفة.لاحظ أنه عند سحب ملابس العمل ، اخلع ملابسك من الأسفل إلى الأعلى.
4.13 يجب اعتماد الزائرين من الخارج من قبل المصنع ، وتحت إشراف وإشراف موظفي إدارة الورشة ، الدخول إلى الورشة الخالية من الغبار ومغادرتها وفقًا للإجراءات المقررة.يجب على الزوار الأجانب الالتزام الصارم بلوائح إدارة ورشة العمل.خلال فترة إنتاج الغرفة النظيفة ، لا يُسمح للزوار الخارجيين بالدخول.
